Descripción general
El reactor PECVD AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-59787 es una cámara de deposición diseñada para aplicar películas o capas delgadas sobre sustratos utilizados en varios dispositivos y sistemas electrónicos. Este reactor, que utiliza la deposición química en fase de vapor mejorada con plasma (PECVD), garantiza una excelente uniformidad de deposición y un espesor de capa constante en toda la superficie del sustrato. Cuenta con una cámara de carga/descarga automatizada, módulos integrados de suministro de energía, vacío y gas, diseñados para minimizar el tiempo de manipulación del sustrato y reducir el tiempo total de procesamiento. La cámara funciona a temperaturas más altas en comparación con los procesos tradicionales de CVD térmico, lo que permite la producción de películas de mayor calidad. Con una interfaz gráfica fácil de usar y una arquitectura de sistema robusta, el reactor ofrece una ventana de proceso ajustable, lo que permite a los usuarios ajustar con precisión la temperatura, la presión y otros parámetros para satisfacer necesidades de deposición específicas. El sistema de suministro de gas reactivo emplea técnicas de CVD de baja presión y baja temperatura (LP-CVD), lo que permite la selección y el ajuste de gases reactivos para características de película altamente específicas. El diseño garantiza una deposición de película altamente uniforme y perfiles de espesor de película precisos y repetibles en todo el sustrato. El sistema incluye un controlador intuitivo con amplias capacidades de registro de datos y control de procesos, lo que garantiza un funcionamiento seguro y resultados confiables. El reactor PECVD AMAT 0010-59787 es una potente cámara de deposición, ideal para producir materiales de película delgada de alta calidad para una amplia gama de aplicaciones electrónicas.Presupuesto
- Identificación: 293665751
- Tamaño de la oblea: 12 pulgadas
- Descripción: Calentador cerámico para productor, 12 pulgadas
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